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磁控溅射法制备氮掺杂的氧化锌薄膜
肖锋伟,郑新亮,江洪湖,李 倩,姚合宝
(西北大学 物理学系,陕西 西安 710069)
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摘要:

关键词: 磁控溅射;氮掺杂的氧化锌薄膜;光致发光(PL)
发表年限: 2009年
发表期号: 第2期